半导体工艺洁净烘箱，百级洁净烘箱性能介绍-及

发布时间：2020-07-29 02:30:31 作者：库宝试验设备

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半导体工艺洁净烘箱，百级洁净烘箱性能介绍：

1. 洁净烘箱是一种用于对于生产过程中用于产品对洁净度高要求的加热烘烤设备。本产品具有安全性好，洁净度高,节能效果优，保温性佳，温度均匀性好。大多应用于烘烤光学、光电、光纤,精密电子及医药器材等欲烘烤物品的烘干或温升处理等。广泛用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IC、医药、光学、航天及军工科研实验室等生产及科研部门中净化干燥的要求。具有独特设计的强鼓风循环系统确保了温度的稳定性，高效循环过滤系统确保箱内的洁净度,控温装置采用 PID 数显控温(可选触摸屏等)，直观醒目，设有可靠性保护装置。

2.循环方式及工作原理：本设备是一种高功能、高信赖度烤箱，结构、材质、强度、保温、风路循环等皆设计精良，且外形美观、操作方便。热风循环系统，风源由循环马达运转带动风轮经电热器，将热风由风道送至烤箱内部，且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热，省电节能温度均匀性好，当门开、关动作引起扰动时，可借此送风循环系统迅速回复操作状态温度值,使温度更均匀。

半导体工艺洁净烘箱，百级洁净烘箱电气原理：主控表进行全过程控温，按原先设定好的程序来控制工作室内温度，如果温度控制系统出故障，使得工作室温度持续升高，当工作室温度上升至二级机械保护设定值时，保护系统立即动作，切断加热电源，并发出报警信号。

　　箱体的温度控制采用了智能电脑温控和PLC自控系统，温度信号的采集用铂电阻，经温度控制器的放大与设定值进行比较得到PID控制信号，同时PLC程控器输出控制信号控制固态继电器SSR导通，固态继电器再控制加热器加热，使箱体处于升温除湿阶段。当温度达到设定值时，温控仪输出PID控制信号PLC，PLC输出控制信号给时间继电器KT，使其开始保温计时，同时，关闭进风机和排风碟阀。通过PID控制电加热不断启闭，箱体处于热风循环保温灭菌阶段。当保温灭菌时间达到设定值时，时间继电器输出信号给PLC，PLC输出全闭电加热，开启水冷却电磁阀，使其吸合导通，从而箱体处于冷却降温阶段。当箱内温度下降≤40℃时，温控仪输出控制信号给PLC，PLC输出关闭热风循环风机，干燥灭菌周期程序结束。TEED一2001K超温报警温控仪输出信号控制PLC整个程序的运行，铂电阻PT100测试信号至报警温控仪与超温报警设置温度值进行比较，当实际温度值低于设定值时，输出控制信号给PLC，PLC程序正常运行。当实际温度值超过设定值时，输出控制信号给PLC，PLC关闭运行程序。故超温报警的设置值一般要高于工作温度的设定值。

　　洁净烘箱的故障分析及解决方法

　　故障现象描述

　　闭合循环烘箱空气开关，按照该烘箱的操作说明书设置好加热温度250℃，超温报警温度260℃，保温计时1h后，启动其自动运行程序，烘箱的循环风机、进风机、碟阀、加热等指示灯按顺序亮起，表明程序运行正常。加热运行2.5h后，温度仍然达不到设定值，如果加热时间过长，就会造成被加热玻璃容器易碎，坏瓶率升高。同时，造成能源浪费，耗电量增加。以及烘箱的工作周期加长，致使在正常生产岗位的两班制下不能按时完成该工艺环节，殆误生产任务的进程计划，且提高了生产成本。正常满箱时温度从室温一直加热到250℃需要2.5h，1个工作周期需要约6h。

　　故障分析

　　首先查看烘箱差压表，判断烘箱内风速是否正常。了解循环烘箱内被加热物品摆放是否过于密集，高温过滤器是否堵塞，风量调节板是否被改动，排除这些原因后，再判断循环风机是否存在故障，造成热风循环空气流通不好，湿热空气不能正常排放。其次从故障现象和烘箱的电路原理分析，烘箱能够加热，说明智能电脑温控仪输出信号正常，PLC输入输出信号也正常。

　　故障检测及排除

　　经过上述故障分析，可以断定控制信号和可调节部件均正常，然后我们从以下几个方面进行检查。首先核对一下GCD一23A型智能电脑温控仪的PID调节参数，看是否人为误操作，致使设置参数变更，从而使得系统出现动作异常。PID参数直接影响着系统的调节精度，是控制系统设计的核心内容。通过适当的PID参数，PID控制可以根据系统被控过程的误差特性，利用比例、积分、微分计算出系统控制量，得到相应的输出响应特性，控制系统使其达到满意的控制效果。恢复PID参数正常设置值。其次检测循环风机运转是否正常，转向是否正确。如果风机反转或风机负载太大而转速过慢，都将影响热风循环不畅通。

　　当风机反转时，可将风机的电源任意两相倒换；当风机转速过慢时，应从两个方面进行检查：

　　(1)电气方面电源电压是否正常，有无缺相或绕组断路现象。

　　(2)机械方面有无扫膛、振动、轴承过热、损坏、风叶松动擦箱壳等故障。可针对具体情况进行排除。再次检测固态继电器和加热器有否局部断路。固态继电器，简写成‘SSR”，是一种全部由固态电子元件组成的新型无触点开关器件，它利用电子元件(如开关三极管、双向可控硅等半导体器件)的开关特性，可达到无触点无火花地接通和断开电路的目的，因此又被称为“无触点开关”。SSR成功地实现了弱信号(Vs

　　)对强电(输出端负载电压)的控制。SSR虚接或导通后的局部断路致使380V电源缺相，加热器不能全部加热，处理方法是维修或更换固态继电器。而加热器的局部断路，也将使加热不能全部工作，造成加热过程过于缓慢。维修或更换加热器。将故障问题完全处理好。闭合循环烘箱空气开关，按照该烘箱的操作说明书运行其程序，经过2.5h的升温后，烘箱到达设定温度，时间继电器开始计时，烘箱进入断续加热的保温灭菌阶段。保温1h后烘箱开始冷却降温，2.3h后整个干燥灭菌周期程序运行结束，完全满足该烘箱提供的技术参数要求和工艺参数要求。　　

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