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工业净化烘箱订做-循环烘箱方案

产品描述:适用于在半导体生产工艺中,光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节,涂胶质量直接影响到光刻的质量,涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的,而硅片表面

产品价格:

厂家品牌:库宝试验设备

发货地:东莞市

非标定制:可联系工程师定做

发布日期:2020-08-17 08:17:26

热风循环烘箱产品介绍

 

工业净化烘箱订做-循环烘箱方案

适用于在半导体生产工艺中,光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节,涂胶质量直接影响到光刻的质量,涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的,而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的,这造成光刻胶和硅片的黏合性较差,尤其是正胶,显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处,容易造成漂条、浮胶等,导致光刻图形转移的失败,同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况

热风循环烘箱功能特点

拥有多重超温保护系统
1. 温控器停止加热,无加热信号输出。
2. 加热系统电路的交流接触器会跳掉,停止加热管供电。
3. 拥有单独一套温度监控传感器(独立限温保护器),监控烘箱工作室温度,当到达警戒值,会强行关闭加热系统。

拥有多重电器特点

1.在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 100
2.全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;
3.采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污避免烘烤时产生 PARTICLE;
4.采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"装置往前门(特殊风道设计)方向送风,过滤效率99.99%,Class 100,排气口:3"φ(附自动启闭风门)


精准控时功能
采用LED数字型时间计时器,最大计时0~9999H/M/S。
设定温度→设定保温时间→时间到结束END提示-自动示切断加热-警报完成指示。


 1、温度从10º至300º可任意调节选定工作温度,并借助箱内温控系统自动恒温。它适用与烘焙,工业烤箱热处理或其他加热用,也是实验室常备仪器。
 2、工作温度可由室温起至很高温度止,在此范围内可任意选定工作温度,选定后可借箱内自动控制系统使温度恒温。
 3、有电动鼓风机,促使室内热空气机械对流,使室内温度更为均匀。
 4、恒温烤箱结构精密,控温灵敏准确,操作简单。
 5、超温报警并自动切断加热电源。
 6、有因停电,死机状态造成数据丢失而保护的参数记忆,来电恢复功能


箱内温度实时监控系统
采用进口六通道温度记录仪,彩色屏幕实时精准显示箱体内部6点温度及曲线,便于监控箱内温度;自动存储温度数据,数据追溯,在线读取,支持U盘导出功能


热风循环烘箱产品参数
工业烘箱参数图
 

热风循环烘箱实物展示
 
 
工业烘箱细节图
工业烘箱内部图
工业烘箱细节图

  一、 本公司提供的售后服务方式
 
  1. 咨询服务:用户在使用过程中遇到任何问题,均可致电免费咨询电话:0769-86290090 咨询或发送邮件(1013957606@qq.com)给我们。
 
  2. 保修服务:保修期内的产品,若出现质量问题,由当地售后服务中心提供保修服务;当地无售后服务中心的,由总公司派遣技术人员到现场维修。
 
  3. 维修服务:维修期内的产品,若出现质量问题,完全免费保修。
 
  二、 用户自购买日起,在正常使用情况下产品若出现质量问题:
 
  1. 一年内免费保修,终身免费提供技术支持。
 
  2. 部件损坏免费保修一年,超过一年的酌情收取工本费用。
 
  注意:
 
  1. 购买日以送货单日期为准(送货单遗失以生产日期为准)。
 
  2. 保修服务只限于一般使用下有效:一切人为损坏(例如用户自行拆机、进行不适当的连接使用、接入不适当电压的电源、未依说明书使用等)、自然灾害等不可抗力、非经本公司认可之维修和改装等均不在免费保修范围内;维修服务适当收费。
 

 

 

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