工业净化烘箱订做-循环烘箱方案

产品描述：适用于在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面

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厂家品牌：库宝试验设备

发货地：东莞市

非标定制：可联系工程师定做

发布日期：2020-08-17 08:17:26

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工业净化烘箱订做-循环烘箱方案

适用于在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况

热风循环烘箱功能特点

拥有多重超温保护系统
1. 温控器停止加热，无加热信号输出。
2. 加热系统电路的交流接触器会跳掉，停止加热管供电。
3. 拥有单独一套温度监控传感器(独立限温保护器），监控烘箱工作室温度，当到达警戒值，会强行关闭加热系统。

拥有多重电器特点

1.在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到Class 100

2.全周氩焊，耐高温硅胶破紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘；

3.采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污避免烘烤时产生 PARTICLE；

4.采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"装置往前门(特殊风道设计)方向送风，过滤效率99.99%，Class 100,排气口：３"φ(附自动启闭风门)

精准控时功能
采用LED数字型时间计时器，最大计时0~9999H/M/S。
设定温度→设定保温时间→时间到结束END提示-自动示切断加热-警报完成指示。

1、温度从10º至300º可任意调节选定工作温度，并借助箱内温控系统自动恒温。它适用与烘焙，工业烤箱热处理或其他加热用，也是实验室常备仪器。
2、工作温度可由室温起至很高温度止，在此范围内可任意选定工作温度，选定后可借箱内自动控制系统使温度恒温。
3、有电动鼓风机，促使室内热空气机械对流，使室内温度更为均匀。
4、恒温烤箱结构精密，控温灵敏准确，操作简单。
5、超温报警并自动切断加热电源。
6、有因停电，死机状态造成数据丢失而保护的参数记忆，来电恢复功能