无尘真空烘箱

产品描述：　在半导体生产过程中，光刻是集成电路图案转移的重要过程环节。涂胶的质量直接影响光刻的质量，涂胶过程也特别重要。在光致抗蚀剂涂覆过程中，大多数光致抗蚀剂是疏水的，而硅晶片表

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厂家品牌：库宝试验设备

发货地：东莞市

非标定制：可联系工程师定做

发布日期：2020-11-07 06:13:13

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　　无尘真空烘箱在半导体生产过程中，光刻是集成电路图案转移的重要过程环节。涂胶的质量直接影响光刻的质量，涂胶过程也特别重要。在光致抗蚀剂涂覆过程中，大多数光致抗蚀剂是疏水的，而硅晶片表面上的羟基和残留的水分子是亲水的，这导致光致抗蚀剂和硅晶片之间，尤其是正胶之间的粘附性较差。在显影过程中，显影剂将侵入光致抗蚀剂和硅晶片之间的连接，这很容易引起漂白，浮胶等，从而导致光刻图案转印失败，并且湿法蚀刻容易发生横向腐蚀。增粘剂HMDS（六甲基二硅氮烷）可以很好地改善这种情况。

氮气真空烘箱功能特点

无尘真空烘箱【特点】

　　1.机器外壳为不锈钢SUS304，内胆为316L不锈钢。加热器均匀地分布在内胆的外壁上，内胆中没有电气附件以及易燃易爆装置。坚固的防弹双层玻璃门使您可以一目了然地观察工作室中的物体。
　　2.烘箱门的密封性可以调节，一体成型的硅橡胶门密封圈确保烘箱内的高真空。
　　3，微电脑智能温控仪具有设定，测温，双数字显示和PID自整定功能，对热风循环炉的温度控制准确可靠。
　　4.智能触摸屏控制系统配有日本三菱PLC模块，用户可以根据不同的工艺条件更改程序，温度，真空度和每个程序时间。
　　5. HMDS气体被密封并自动吸入和添加，真空箱具有良好的密真空烤箱不加热封性能，确保了HMDS气体的泄漏。
　　6.整个系统由优质材料制成，无粉尘产生，适用于100级光刻室净化环境。

拥有多重超温保护系统

1. 温控器停止加热，无加热信号输出。
2. 加热系统电路的交流接触器会跳掉，停止加热管供电。
3. 拥有单独一套温度监控传感器(独立限温保护器），监控烘箱工作室温度，当到达警戒值，会强行关闭加热系统。

拥有多重电器保护结构和特点

1.長方體工作室，使有效容積達到最大，微電腦溫度控制器，控溫精確可靠。

2. 鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內物體，一目了然，可向內部充入惰性氣體。

3.箱門閉合鬆緊可調節，一體成型的矽橡膠門封圈，確保箱內高真空度。

4.工作室採用不銹鋼板材料製成，確保產品經久耐用，便於清潔。

5.儲存、加熱、試驗和乾燥可在沒有氧氣或者充滿惰性氣體環境裏進行，不會導致氧化。

6.縮短乾燥時間，與傳統真空乾燥箱相比，乾燥時間減少50%以上。

精准控时功能

采用进口HM品牌数字显示温度控制器双屏高亮度宽视窗数字显示，示值清晰、直观。微电脑智能控制，设定温度后，仪表自行控制加热功率，并显示加热状态，控温精确而稳定。超温报警并自动切断加热电源。有定时功能，定时时间zui长达9999分钟。
安全保护系统：超温报警，欠相缺相保护，过电流保护，快速熔断器，接地保护。

箱内温度实时监控系统
采用进口六通道温度记录仪，彩色屏幕实时精准显示箱体内部6点温度及曲线，便于监控箱内温度；自动存储温度数据，数据追溯，在线读取，支持U盘导出功能。

迴圈程式控制功能：
人性化的操作介面和編程程式，節約了客戶時間，保證可靠的加熱或乾燥工藝，可以在操作介面直接編程，可預設7段63步可編程式，每段設置時間1-99小時59分，可預置開機和關機時間。
真空度控制：真空乾燥箱採用數位技術控制真空度，“手動控制”早已成為歷史，您還認為在21世紀的今天手動真空烤箱不加热杠杆操作的閥門可以精確控制真空度嗎？通過數顯真空計自動控制真空度，為您提供更加精確有效的真空度控制。通過面板，可方便地將真空度控制在10~10 5 Pa(最低達到真空度133Pa)的範圍內的任何兩路點間或區域，控制精度為±1%。真空計採用了電阻矽管壓力感測器，從而保證了穩定的壓力值真空烤箱不加热，不受氣流的影響，把穩定的壓力值傳給真空計LED顯示幕上。
溫度控制優勢：
具有7段63步溫度可編程功能：具有傳統程式控制模式，還可以設置溫度、恒溫時間，含義為“溫度~該溫度恒溫時間”，BPZ-LC更包含斜率模式程式控制，要用“溫度—時間—溫度”格式定義：從某溫度升或降真空烤箱不加热到另一溫度所需要的時間，從而精准實現升或降溫過程的速率控制。從而使你在整個溫度實驗中，不論升溫、恒溫或降溫每一個過程都實現可控。?