预处理系统真空干燥箱KB系列

KB预处理系统 KB-6210烘箱特点：
在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂KB(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况

KB预处理系统 KB-6210烘箱特点：
1、机外壳采用不锈钢SUS304材质制造，内胆为不锈钢316L材料制成；加热器均匀分布在内胆外壁四周，内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。
2、KB预处理烘箱箱门闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶门封圈，确保箱内高真空度。
3、微电脑智能控温仪，具有设定，测定温度双数字显示和PID自整定功能，控温精确，可靠。
4、智能化触摸屏控制系统配套日本三菱PLC模块可供用户根据不同制程条件改变程序，温度，真空度及每一程序时间。
5、KB气体密闭式自动吸取添加设计，真空箱密封性能佳，确保KB气体无外漏顾虑。
6、整个系统采用优质材料制造，无发尘材料，适用100 级光刻间净化环境。

KB预处理系统

KB-6020真空干燥箱技术参数：
电源电压：AC 220V±10%/50Hz±2%
输入功率：1500W
控温范围：室温+10℃-250℃
温度分辨率：0.1℃
温度波动度：±0.5℃
达到真空度：贵州染料热风循环烘箱133Pa
容积：20L
工作室尺寸（mm）：300*300*275
外形尺寸（mm）：465*465*725
载物托架：1块
时间单位：分钟

KB-6090真空干燥箱技术参数：
电源电压：AC 220V±10%/50Hz±2%
输入功率：3000W
控温范围：室温+10℃-250℃
温度分辨率：0.1℃
温度波动度：±0.5℃
达到真空度：133Pa
容积：90L
工作室尺寸（mm）：450*贵州染料热风循环烘箱450*450
外形尺寸（mm）：615*615*900
载物托架：2块
时间单位：分钟

KB-6210真空干燥箱技术参数：
电源电压：AC 380V±10%/50Hz±2%
输入功率：4000W
控温范围：室温+10℃-250℃
温度分辨率：0.1℃
温度波动度：±0.5℃
达到真空度：133Pa
容积贵州染料热风循环烘箱：210L
工作室尺寸（mm）：560*640*600
外形尺寸（mm）：720*820*1050
KB预处理烘箱载物托架：3块
时间单位：分钟

选配件
真空泵：德国品牌，莱宝“DC”双极系列旋片式油泵，极限真空高，噪音低，运行稳定。连接管：不锈钢波纹管，完全密封将真空泵与烘箱连接。

KB预处理系统的必要性：
在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂KB(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。将KB涂到硅片表面后，经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。

KB预处理系统的原理：
KB预处理系统通过对KB预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层KB，降低了KB处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。

KB预处理系统的一般工作流程：
先确定工作温度。典型的预处理程序为：打开真空泵抽真空，待腔内真牢度达到某一高真空度后，开始充人氮气，充到达到某低真空度后，冉次进行抽真空、充入氮气的过程，到达设定的充入氮气次数后，开始保持一段时间，使硅片充分受热，减少硅片表面的水分。然后再次开始抽真空，充入KB气体，在到达设定时间后，停止充入KB药液，进入保持阶段，使硅片充分与KB反应。当达到设定的保持时间后，再次开始抽真空。充入氮气，完成整个作业过程。KB与硅片反应机理如图：先加热到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后KB与表面的OH一反应，在硅片表而生成硅醚，消除氢键作，从而使极性表面变成非极性表面。整个反应持续到空间位阻(三甲基硅烷基较大)阻止其进一步反应。

尾气排放等：多余的KB蒸汽（尾气）将由真空泵抽出，排放到专用废气收集管道。在无专用废气收集管道时需做专门处理。

库宝产品：高低温试验箱、无尘洁净烤箱、鼓风干燥箱、恒温恒湿试验箱、高低温试验机、恒温干燥箱、充氮烤箱、高低温箱、二次硫化烘箱、氮气柜

以上是东莞库宝试验设备的产品技术文章，有其他不清楚的欢迎致电：15816831231罗先生，会为您做详细解答！