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真空烘箱热阴极电离真空计

发布时间:2020-10-10 07:37:58 作者:库宝试验设备

真空烘箱外观图
  真空烘箱热阴极电离真空计
  热阴极电离真空计的结构类似于三极管。国内常用的电离真空计(DL-2)的结构原理如图8.0-8所示。热阴极灯丝A在通电和加热后会发射热电子,而栅极阳极B的正电压较高。热电子通过阳极B的电压被加速并被阳极收集。因为阳极是网格状的,所以会有一些电子通过阳极。这些电子在板状集电体C的作用下在负电压的作用下返回阳极,在空间中来回振荡,最终被阳极吸收。当电子在空间中移动时,它们使空气分子电离。通过电离产生的正离子被集电器C收集,形成一定的离子电流Ii。对于一定的电子流Ie,离子流Ii与气体压力成正比,即
  真空烘箱热阴极电离真空计
  其中:Ki称为电离调节器的灵敏度。
  由于高真空中的气体非常稀薄,并且测得的离子电流非常小,因此测量仪器需要一个微电流放大器D和一个灯丝稳态电流设备。热阴极电离真空计的线性指示范围是10-3?10-7 Torr。在高真空领域,电离真空计是广泛使用的主要真空计。由于电离真空计的灯丝和阳极很容易在低真空下烧坏,因此请勿在低真空下使用。电离真空计工作时,不允许将大气放入真空室,以免烧毁真空计。
  由电离真空计和上述热电偶真空计组成的“复合真空计”具有广泛的应用范围,总范围为10-1至10-7 Torr。用热电偶仪测量10-1?10-3托,用电离仪测量10-3?10-7托。

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